某半導(dǎo)體制造基地2600平方米生產(chǎn)車(chē)間內(nèi)，精密儀器持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)產(chǎn)生的熱量與人員作業(yè)產(chǎn)生的濕熱負(fù)荷疊加，夏季室內(nèi)溫度常突破35 ℃ 。這種高溫環(huán)境直接影響光刻、蝕刻等核心工藝的穩(wěn)定性，傳統(tǒng)中央空調(diào)系統(tǒng)因控溫精度不足、能耗偏高，始終無(wú)法滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)車(chē)間±1℃的溫控要求。

半導(dǎo)體生產(chǎn)車(chē)間整體控溫降溫，應(yīng)用工業(yè)蒸發(fā)冷省電空調(diào)臥式射流機(jī)

       項(xiàng)目工程經(jīng)理通過(guò)實(shí)地勘測(cè)與熱負(fù)荷計(jì)算，為該車(chē)間量身定制分布式溫控解決方案。19臺(tái)蒸發(fā)冷省電空調(diào) -臥式射流機(jī)被科學(xué)分布于車(chē)間四周墻壁上 ，設(shè)備選用低風(fēng)阻射流送風(fēng)結(jié)構(gòu)機(jī)型，通過(guò)6 米/秒的平拋氣流實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離溫度覆蓋，避免冷風(fēng)直吹操作崗位造成不適。機(jī)組搭載的智能控制系統(tǒng)可根據(jù)實(shí)時(shí)溫度自動(dòng)調(diào)節(jié) 30%-100% 輸出功率。

       設(shè)備運(yùn)行測(cè)試階段，專(zhuān)利蒸發(fā)冷凝技術(shù)展現(xiàn)顯著優(yōu)勢(shì)。循環(huán)水在多層波紋濕簾表面形成均勻水膜，空氣穿過(guò)時(shí)發(fā)生等焓加濕降溫，此過(guò)程可降低進(jìn)風(fēng)溫度5-8℃。預(yù)冷后的空氣進(jìn)入全封閉渦旋壓縮系統(tǒng)，通過(guò)電子膨脹閥實(shí)現(xiàn) 0.1℃精度調(diào)節(jié)，最終經(jīng)特殊設(shè)計(jì)的導(dǎo)流風(fēng)口以層流形式均勻覆蓋生產(chǎn)區(qū)域。十分鐘后，分布車(chē)間各處的溫濕度傳感器顯示，整體溫度從 35℃ 平穩(wěn)降至 24.4℃。

蒸發(fā)冷省電空調(diào)-臥式射流機(jī) 設(shè)備

       實(shí)際運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示，該系統(tǒng)綜合能效比達(dá)到4.2。設(shè)備群組通過(guò)變頻技術(shù)實(shí)現(xiàn)智能聯(lián)動(dòng)，根據(jù)生產(chǎn)節(jié)奏動(dòng)態(tài)調(diào)整制冷量輸出，單日峰值用電量較改造前下降37% 。全封閉式機(jī)組具備IP54 防護(hù)等級(jí)，有效阻隔粉塵侵入，其搭載的降噪組件使運(yùn)行噪聲實(shí)測(cè)值保持在65分貝以下。

半導(dǎo)體生產(chǎn)車(chē)間整體控溫降溫，應(yīng)用工業(yè)蒸發(fā)冷省電空調(diào)臥式射流機(jī)

       客戶非常滿意驗(yàn)收結(jié)果，特別指出蒸發(fā)冷省電空調(diào)-臥式射流機(jī) 設(shè)備 在潔凈室環(huán)境中表現(xiàn)出色 ，溫濕度控制精度完全滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝要求。后期追蹤表明，持續(xù)運(yùn)行期間設(shè)備維護(hù)成本降低40% 。這項(xiàng)解決方案不僅解決了高精度制造環(huán)境控制難題，更通過(guò)能源效率提升為企業(yè)創(chuàng)造可觀經(jīng)濟(jì)效益，為工業(yè)制冷領(lǐng)域提供可借鑒的綠色轉(zhuǎn)型范例。